The Moisture Barrier Film Using Thermal Epoxy Resin and Atomic Layer Deposition

김성희 ,  이준영 ,  최명수

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2020 .10

Bandgap Control of Sn_1-xMg_xO Semiconductor Thin Film by MgO Cycle Ratio Control in Atomic Layer Deposition Method

Jin Gi An ,  Juwon Kim ,  Donghyeop Shin 외 10명

AFORE

2023 .11

R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

홈메이드 ALD(atomic layer deposition)의 제작과 알루미늄 옥사이드의 제작

박해범 ,  조성민 ,  김건웅 외 4명

대한전자공학회 학술대회

2021 .11

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

Effect of purge-time of the Atomic Layer Deposition process to the moisture barrier properties of Aluminum oxide thin films

Thu Nguyen ,  김성희 ,  이준영

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .04

표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향

고은총 ,  안지상 ,  한정환

한국표면공학회지

2022 .12

전자 사이클로트론 공명 플라즈마와 열 원자층 증착법으로 제조된 Al₂O₃ 박막의 물리적·전기적 특성 비교

양대규 ,  김양수 ,  김종헌 외 2명

한국재료학회지

2017 .01

원자층 증착법을 이용한 폴리머 전해질 교환막 연료전지 소재 연구 동향

신예원 ,  한유리 ,  이우재

한국표면공학회지

2025 .02

ALD 공정에서의 플라즈마 응용

이우재 ,  윤혜원 ,  이동권 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

Atomic Layer Deposition on Nano-particles using External Vibration

S.W. Pa ,  k ,  G. D. Han 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

Role of a PVA layer During lithography of SnS₂ thin Films Grown by Atomic layer Deposition

Ham ,  Giyul ,  Shin 외 7명

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

Al₂O₃/HfO₂ Moisture Barrier Films on Polymer Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

김래호 ,  장진혁 ,  박선욱 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .04

Evaluating the Moisture-barrier Properties of Aluminum Oxide Thin Films Under Influence of Purging Step in Atomic Layer Deposition Techniques

Thu Nguyen ,  김재호 ,  김성희 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .10

박막공정 최적화를 위한 ALD Chamber 내부 열유동 해석

이승헌 ,  송동근 ,  김정수 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

High-k Thin Films by Atomic Layer Deposition for Energy and Information Storage

안지환

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2018 .12

공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발

이재욱 ,  김현범 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발

김현범 ,  이재욱 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

저온 ALD/MLD 를 이용한 유기-무기 하이브리드 기체 투과 방지막 특성 연구

김소정 ,  김천중 ,  정낙관

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10