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장만석; 김성철

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 장만석 (에스제이엔) 김성철 (에스제이엔)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2016년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2016.10

수록면: 113 - 113 (1page)

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#Vacuum #Micro-hole #Precision Stage #Electron Beam Machining

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장만석

소속기관 에스제이엔

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 8 이용수 200

김성철

소속기관 에이엠테크놀로지

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 자동차공학 TOP 5%

논문수 124 이용수 19,220

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