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저자정보
김성철 (에이엠테크놀로지) 김종길 (에이엠테크놀로지) 장만석 (에스제이엔)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2018년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2018.10
수록면
570 - 570 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2019

전자빔 미세홀 가공용 5 축 스테이지 및 진공챔버 최적화
김성철 ,  김종길 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019.10 학술대회자료
전자빔 미세홀 가공용 5 축 스테이지를 위한 진공챔버 제작 및 평가
김성철 ,  김종길 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019.05 학술대회자료

2018

전자빔 미세홀 가공용 5 축 고정밀 진공 스테이지 조립 및 평가
김성철 ,  김종길 ,  장만석 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018.10 학술대회자료
전자빔 미세홀 가공용 5 축 고정밀 진공 스테이지 설계
김성철 ,  장만석 ,  김종길 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018.05 학술대회자료

2017

전자빔 미세홀 가공용 고정밀 진공 스테이지 설계
김성철 ,  장만석 ,  김종길 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2017.05 학술대회자료

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#Electron beam #Micro-hole #High aspect ratio #5 Axis

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