압전 작동기와 변위 증폭기 구조를 활용한 스테이지의 피드포워드 제어

김형건; 정진영; 오일권

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저자정보: 김형건 (Korea Advanced Institute of Science and Technology) 정진영 (Korea Advanced Institute of Science and Technology) 오일권 (Korea Advanced Institute of Science and Technology)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2016년도 학술대회

발행연도: 2016.12

수록면: 1,636 - 1,638 (3page)

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#Piezoelectric actuator(압전작동기) #Displacement amplifier(변위증폭기) #Hysteresis compensator(히스테리시스 보상) #Position Stage(포지션 스테이지)

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