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정기범 (경북대학교) 권성환 (경북대학교) 양승한 (경북대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
361 - 361 (1page)

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스테이지의 내부 열원에 의해 발생하는 변위 오차에 대해서는 지속적으로 연구가 진행되어 왔으나 외부 열원에 의해 발생하는 변위 오차에 대해서는 아직까지 연구가 많이 진행되지 않았다. 외부 열원에 의한 오차는 열원으로 인한 외부 환경의 온도 변화로 스테이지가 영향을 받아 발생하는 변위 오차이다. 이때 발생하는 변위 오차를 줄이기 위해 외부 환경의 온도를 일정하게 유지하는 방법 등이 제시되었지만 다양한 외부 열원에 의해 환경 온도 변화 및 변위 오차를 완벽히 제어하기 어렵다. 따라서 외부 환경 온도의 변화가 스테이지의 오차에 미치는 영향 분석이 ... 전체 초록 보기
#Stage #Artificial neural network #Thermal induced error #Environmental temperature

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