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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2017.4
- 수록면
- 158 - 165 (8page)
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This study investigated spraying factors applicable to stripper usage. Cyclodextrine, as environment-friendly material, was included in the stripper composition. An efficient spray technology was applied for the Photoresist strip. For industrial applications, stripping requires a temperature below 50℃, a strip time within 50 s, and chemically stable activation. Spraying factors were organized considering many conditions-orifice diameter, working pressure (inlet speed), spray distance, and spray angle. For commercial practicability, the flow rate was limited to 3 L/min. The nozzle parameters were nozzle orifice diameter of 1.8-2.2 mm, spray distance of 40-60 mm, and injection speed of 0.7-1.2 m/s. Through the thermal spray movement of the fluid, the thermal boundary layer for a chemical reaction just above the ITO-glass surface and momentum region for sufficient agitation (above 4 m/s) was achieved.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. PR박리의 화학적(물리적)인 작동구조
3. 노즐 박리 작용의 수치적 해석 기법
4. 결과 분석
5. 결론
References
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
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