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저자정보
이기성 (Seoul National University of Science & Technology) 오홍준 (Seoul National University of Science & Technology) 김용성 (Seoul National University of Science & Technology)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조학회지 Vol.28 No.2
발행연도
2019.4
수록면
71 - 78 (8page)
DOI
10.7735/ksmte.2019.28.2.71

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In this research, we investigate an aqueous stripper to replace organic strippers. In order to ensure cleanliness of the aqueous stripper, optimization of the water content ratio and the process conditions were studied. The stripping characteristics of the PR coated ITO layer on the glass substrate, which depends on the water content, temperature, and fluidic velocity of the stripper was examined and compared. The stripping performance was evaluated through the PR residual amount and optical characteristics of the stripped sample. The stripping condition was optimized for the maximum water content of 74.5% in the fluidic process and stripping time of 50 sec at the minimum temperature of 40°C. Also, the cleanliness of the aqueous stripper was analyzed and compared with the organic and aqueous stripping processes with LCA.
#Aqueous stripper #Photo-lithography #Cyclodextrin #Photoresist #Stripping process #Swelling

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (14)

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