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스캐닝 간섭 리소그래피 공정 중 발생하는 오차 보정을 위한 tip tilt mirror 제어 수식에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
3 차원 패터닝을 위한 프리즘 응용 간섭 리소그라피
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
환경 요인에 의한 오차 보정 알고리즘을 적용한 실시간 스캐닝 빔 제어 기술에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
대면적 나노구조 패턴 제작을 위한 레이저 간섭 리소그래피 기술을 활용한 가간섭성 회절 기술에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2019 .11
나노 패터닝 정밀도 향상을 위한 광학적 패턴주기 측정 및 제어에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .10
A Simple Measurement of the Refractive Index by Using a Nano Pattern Fabricated by Laser Interference Lithography
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
레이저 간섭 리소그래피를 이용한 표면증강라만 산란센서 제작
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2019 .11
레이저 간섭노광 기반 나노패턴 원통금형 제조시스템 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2019 .11
Large-area and high-throughput fabrication of periodic structures by single beam laser interference lithography
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
MEMS Mirror Based Laser Direct Lithography System
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
헤테로다인 광간섭 노광을 이용한 멀티스케일 나노공정
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .04
Poisson Effect-assisted Replication Lithography for 3D Microstructure Fabrication
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
상변화 마스크를 이용한 나노 리소그래피에 관한 연구
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2018 .05
롤 타입 리소그래피 장비의 시각적 관용성을 가지는 타일링 기법 적용에 대한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
전기수력학적 리소그래피를 이용한 기능성 물질의 미세패턴 형성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
Three-dimensional Mechanical Metamaterials Fabricated by Multi-beam Interference Lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2018 .10
롤장비 기반의 플라즈모닉 리소그래피 연속공정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
Fabrication of micro/nano complex grating by light interference lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2016 .10
시각적 관용성을 가지는 타일링 기법의 롤 타입 리소그래피 장비 적용에 대한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2016 .10
딥러닝 기반 리소그래피 패턴 윤곽선 자동 추출 기법
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
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