환경 요인에 의한 오차 보정 알고리즘을 적용한 실시간 스캐닝 빔 제어 기술에 관한 연구

박창수; 김민수; 김영석; 강신일

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박창수 (연세대학교) 김민수 (연세대학교) 김영석 (연세대학교) 강신일 (연세대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2017년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2017.5

수록면: 279 - 279 (1page)

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