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원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
Atomic Layer Deposition 방법을 이용한 Zinc Oxide Hybrid 박막의 기계적 물성 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
Atomic layer deposited zinc oxide anode for Li-ion battery : An easy and direct electrode fabrication without carbon and binder
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .09
상온 ALD-MLD 공정을 이용한 산화알루미늄 - 폴리우레아 유무기 복합 유연 봉지 박막 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
다양한 전구체의 펄스 시간에 따른 원자층 박막 증착을 통한 박막 특성 비교
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
원자층 증착 박막을 활용한 고성능 산화물 전해질 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
High-k Thin Films by Atomic Layer Deposition for Energy and Information Storage
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2018 .12
Electrical and Optical Properties of Ti-ZnO Films Grown on Glass Substrate by Atomic Layer Deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
ZnO 초박막의 두께 변화에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성 변화 연구
마이크로전자 및 패키징학회지
2019 .01
용액공정을 이용한 열처리된 산화아연 박막의 투명한 박막 트랜지스터 구현을 위한 전사방법 개발
반도체디스플레이기술학회지
2018 .01
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
원자층 증착을 이용한 고 유전율 Al2O3 절연 박막 기반 Indium Zinc 산화물 트랜지스터의 저전압 구동
전기전자재료학회논문지
2017 .07
원자층 증착법을 이용한 팔라듐-산화아연 이종구조 광촉매 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
원자적층법을 이용한 공정 온도에 따른 Zinc Oxide Nanorod의 배열에 대한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
Atomic Layer Deposition (ALD) 및 Molecular Layer Deposition (MLD) 하이브리드 공정을 활용한 Al-doped ZnO (AZO)/Alucone 다층박막의 인장거동의 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
유한요소 해석을 이용한 박막 고속 증착용 ALD장비 최적설계
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .04
상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
산화 아연 박막 트랜지스터에서 은 나노선 층 삽입의 효과
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
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