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권동령 (창원대학교) 손황진 (창원대학교) 조영태 (창원대학교) 정윤교 (창원대학교)
저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2017년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2017.4
수록면
172 - 172 (1page)

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#CVD(Chemical Vapor Deposition) #Shower Head Hole #Growth Rate #Uniformity

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