다공성 금속 샤워헤드가 적용된 상압플라즈마 화학기상증착법을 이용한 저온 다결정 실리콘 증착 공정

박형규 ,  송창훈 ,  오훈정 외 1명

전기전자재료학회논문지

2020 .01

샤워헤드 배플 형상에 따른 CVD 챔버 내부 유동장에 대한 수치해석적 연구

유민상 ,  정지홍 ,  손동기 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11

반도체 증착공정 원료물질의 열안정성

한인수 ,  이근원

한국가스학회 학술대회논문집

2016 .06

다공성 금속 샤워헤드를 적용한 상압 플라즈마 화학 기상 증착법에 의한 저온 다결정 실리콘 증착 공정

박형규 ,  송창훈 ,  오훈정 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2019 .11

박막공정 개선을 위한 ALD Chamber 의 Showerhead 구조 최적화

이승헌 ,  송동근 ,  김정수 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

다층 박막 스퍼터링 장비의 제어시스템에 관한 연구

이선종 ,  유흥렬 ,  손영득

전기전자학회논문지

2018 .06

Surface Chemistry Modification for Developing Atomic Layer Deposition Process for the 2D Material and Thin Film Deposition on 2D Materials

전우진

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

사물인터넷을 이용한 증착 공정 설계와 해석

소예인 ,  김정호 ,  조성의

한국통신학회 학술대회논문집

2019 .11

Atomic layer deposition : beyond semiconductor process

박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

반도체용 칩 테스트 챔버 내부 유동 특성에 관한 연구

손용진 ,  김성 ,  이슬기 외 5명

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2019 .07

챔버 시스템 내 공기 유동 분석

공병진 ,  이상호 ,  변상호 외 3명

한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집

2024 .10

Investigation of Influence of Deposition Strategies on Thermo-Mechanical Characteristics of Planar Deposition Using a Directed Energy Deposition Process

D. G. Ahn ,  B. L. Chua

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2019 .10

반도체 칩 테스트용 챔버의 유동특성에 관한 수치적 연구

김성 ,  이대규 ,  마상범 외 2명

한국에너지학회 학술발표회

2021 .11

Fe₃O₄ 박막의 증착 속도에 따른 광학적 특성 변화

정지윤 ,  김윤재 ,  정윤교 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .04

반도체 칩 테스트용 챔버의 내부 유동 균일성 향상을 위한 설계 최적화

이대규 ,  마상범 ,  김성 외 3명

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2021 .12

CCS MOCVD 반응기의 GaN 증착 특성 예측을 위한 3차원 유동 및 화학반응 해석

박신 ,  김경진 ,  곽호상

대한기계학회 논문집 B권

2019 .04

유동해석과 열해석을 이용한 테스트 챔버 내 반도체 칩의 온도 균일도 분석

정효재 ,  백종현

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

전산유체역학을 사용한 반도체 검사 장비 내 챔버에서의 열전달 해석

음푸른별 ,  안지은 ,  정세환 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .04

RE100 대응을 위해 액화가스 에너지 저장을 활용한 반도체 공정챔버용 극저온 냉각시스템 개념설계

이춘식 ,  염충섭

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발

김민식 ,  한권덕 ,  최형종 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12