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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
김대원 (고등기술연구원) 박일정 (고등기술연구원) 김건홍 (고등기술연구원) 채병만 (케이엠씨) 이상우 (케이엠씨) 최희락 (부경대학교) 정항철 (고등기술연구원)
저널정보
한국청정기술학회 청정기술 청정기술 제23권 제2호
발행연도
2017.6
수록면
158 - 162 (5page)

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철, 구리, 알루미늄, 니켈 등의 금속을 에칭하기 위한 에칭액으로 FeCl₃ 용액이 사용되며, 에칭 과정에서 Fe<SUP>3+</SUP>가 Fe<SUP>2+</SUP>로 환원되면서 에칭속도를 저하시키고, 에칭효율이 감소하게 된다. 또한 에칭 후 발생하는 염화철 에칭폐액은 환경적, 경제적으로 문제를 지니기 때문에 에칭액을 재생하여 재사용 할 필요가 있다. 본 연구에서는 FeCl₂ 용액에 HCl을 첨가한 후, 산화제로 H₂O₂, NaClO₃를 첨가하여 용액 내 Fe<SUP>2+</SUP>를 산화시켰으며, 산화과정에서 산화-환원전위(ORP)와 산화율간의 관계를 조사하였다. ORP는 H₂O₂와 NaClO₃의 농도가 증가함에 따라 증가하였으며, 산화가 진행되면서 점차 감소하여 산화가 완료된 후에 일정한 ORP를 유지하였다. Nernst 식과 일치하는 결과를 보였다. 또한 충분한 양의 HCl 및 H₂O₂, NaClO₃를 첨가하였을 경우, 약 99% 이상 산화가 이루어짐을 알 수 있었다.

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (9)

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