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Uncertainty Evaluation of Optical Wafer Thickness Measurements
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
웨이퍼 변형측정 광학모듈의 성능 및 신뢰성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
자중 변형을 보상한 300 mm 실리콘 웨이퍼의 형상 및 두께 분포 동시측정기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
3D 적층 IC제조를 위한 웨이퍼 휨 측정법
반도체디스플레이기술학회지
2018 .01
영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
시험장비의 특성을 고려한 진동시험결과에 대한 측정불확도 추정
한국소음진동공학회논문집
2016 .12
반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .06
Wafer TTV 측정장비 평행도 보정용 Standard Wafer 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
시험장비의 특성을 고려한 진동시험결과의 측정불확도 추정 예
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2016 .10
유한요소해석을 이용한 팬 아웃 웨이퍼 레벨 패키지의 Warpage 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술
한국산학기술학회 논문지
2021 .01
진공 챔버에서 사용되는 이송 로봇의 웨이퍼 슬립 보상을 위한 웨이퍼 슬립 측정 방법
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2023 .06
Flow analysis for fan-in/fan-out wafer level package coating process
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
파력발전 출력성능 측정불확도 요소 분석
한국해양환경·에너지학회 학술대회논문집
2021 .10
Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
Optimal Selection of n-Type Wafer Resistivity and Lifetime for Industrial High-Efficiency Silicon Solar Cells
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2024 .10
웨이퍼 이송시 스크래치 방지를 위한 웨이퍼이송로봇 기울기 보정에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석
대한기계학회 논문집 B권
2018 .01
고체추진기관의 추력측정불확도 개선 방법 연구
한국추진공학회 학술대회논문집
2020 .11
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