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한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제4권 제2호
발행연도
2003.6
수록면
63 - 70 (8page)

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본 논문에서는 반도체 제조장비의 핵심 부품 중에 하나인 질량유량제아가(MFC, Mass Flow Contrailler)를 설계하고 구현하였다. Microchip社의 마이크로콘트롤러(Micracontraller) PIC 16F876을 사용하여 개발된 MFC는 여러가지 문제전을 가진 아날로그(Analog) 방식의 MFC와 고가의 DSP(Digital Signal Processor) 및 고분해능의 AD변환기(Analog to Digital Convertor)를 사용하는 디지털 MFC의 장점을 혼합한 하이브리드형(Hybrid-Type)이다. 본 논문에서 개발된 MFC는 크게 센서부(Sensor Unit), 제어부(Contral Unit), 구동가부(Actuator Unit)로 구성되었으며, 성능향상을 위한 자동보정 (Automatic Calibration) 알고리즘과 표준테이블(eference Table) 방식을 사용하였다.
#mass flow controller (MFC) #PIC #Thermal mass flow meter

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