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한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제5권 제1호
발행연도
2004.2
수록면
83 - 86 (4page)

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고온용 마이크로 전자소자를 이용한 일산화탄소 가스센서를 개발하였다.100~300℃의 영역에서 가스 감지 특성을 조사하였다. 센서의 가스 감도는 높고, 감지속도는 빠르고 센서는 재현성을 보여 주었다. Pt-SiC 및 Pt-SnO₂ 다아오드는 표준 반도체 공정을 이용하여 제작하였다. CO 가스 감지 특성은 정상상태 및 과도 상태의 조건아래에서 I-V 및 △I-t법을을 이 용하여 CO 가스 농도와 온도의 함수로서 분석하였다. Pt-SnO₂ 촉매 층을 갖는 소자의 가스 감도가 Pt 게이트만으로 이루어 진 소자보다 높았다. 실험 결과는 SnO₂ 충이 Pt 막의 촉매 반응을 향상시키는 것을 보여주었다.
#carbon monoxide #gas sensor #Pt-SnO₂ #SiC Schottky diode

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