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한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제15권 제4호
발행연도
2014.4
수록면
1,879 - 1,884 (6page)

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최근 미세접합 기술이 다양한 사회에서 주목받고 있다.미세접합 기술은 레이저 접합 초음파 접합 등이 있다.그러나 미세 접합의 연구가 많이 부족한 실정이다.이에 본 논문에서는 초음파 접합장치 구동 시 열평형 상태에서 압전소자에 열 영향을 최소화하기 위해 냉각관을 설계하였다.또한 냉각관이 설계된 초음파 접합 장치를 이용하여 접합 실험을 실시하였다. 다꾸찌 실험계획법을 이용하여 실험을 실시하였으며,기초실험을 통해 공정변수와 반응 변수를 설정하였다.접합 실험의 신 뢰도를 검증하기 위하여 접합 계면의 미세조직을 관찰하였고,인장실험을 통해 접합 강도를 확인하였다.

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