지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2014.11
- 수록면
- 6,464 - 6,471 (8page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
웨이퍼 단위의 렌즈를 성형 시 일반적으로 UV경화 방식을 사용한다. 이 경우 발생될 수 있는 문제점은 크게. 경화 후 이형과정에서 성형 렌즈의 금형 고착문제, 경화 공정 중 발생하는 소재의 수축 현상으로 렌즈간의 형상 오차 발생 및 웨이퍼 단위의 변형, 위치별 렌즈 형상 편차 발생, 웨이퍼 양면의 렌즈 형상 및 센터 정렬 오차 등이다. 이중 UV경화 과정에 직접적인 영향을 받는 것은 형상 오차 및 변형으로 그 요인은 UV 조사 균일성, UV 강도에 대한 경화도, UV 경화 소재의 수축 특성이다. 따라서 소재에 대한 경화 모델링 수립 및 경화 반응에 따른 수축율과 물성 변화에 대한 이론정립이 필요하다. 또한 이러한 모델링을 해석에 구현할 수 있는 해석 툴 개발이 필요하다. 본 연구에서는 Comsol을 이용하여 수립된 모델링을 반영하고 이를 통하여 웨이퍼 단위 렌즈의 성형 공정에 대한 해석 기법을 제안하였다. 이를 통해 7.2mm에 대한 누적 공차 값을 실제 성형 공정 후 결과(0.149μm)과 비교하여 제안한 해석 방법에 의한 결과(0.215μm)을 비교, 검증을 수행하였으며 이를 통하여 UV경화 공정 후 변형에 대한 해석 가능성을 확인하였다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (8)
참고문헌 신청
H. Schmitta / 2010 / Full wafer microlens replication by UV imprint lithography / Microelectronic Engineering 87(Issues 5?8):1074~1076
R. Voelkel / 2008 / TECHNOLOGY TRENDS OF MICROLENS IMPRINT LITHOGRAPHY AND WAFER LEVEL CAMERAS (WLC) / MOC’08, Conference on Micro-Optics
H. Han / 2010 / Wafer Level Camera technology - from wafer level packaging to wafer level integration / Electronic Packaging Technology &High Density Packaging (ICEPT-HDP), 2010 11th International Conference on
A. Maffezzolia / 1998 / Effect of irradiation intensity on the isothermal photopolymerization kinetics of acrylic resins for stereolithography / Thermochimica Acta 321(Issues 1-2):111~121
M.J. Ha / 2008 / Cure Kinetics Modelling of UV Curable Resin
R. Voelkel / 2008 / TECHNOLOGY TRENDS OF MICROLENS IMPRINT LITHOGRAPHY AND WAFER LEVEL CAMERAS (WLC) / MOC’08, Conference on Micro-Optics
H. Han / 2010 / Wafer Level Camera technology - from wafer level packaging to wafer level integration / Electronic Packaging Technology &High Density Packaging (ICEPT-HDP), 2010 11th International Conference on
A. Maffezzolia / 1998 / Effect of irradiation intensity on the isothermal photopolymerization kinetics of acrylic resins for stereolithography / Thermochimica Acta 321(Issues 1-2):111~121
M.J. Ha / 2008 / Cure Kinetics Modelling of UV Curable Resin
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
온도강하에 의한 김치발효의 유산균 군집의 특징
이현중
,
백지호
,
양문
외 3명
미생물학회지
1993
.08
유산균 종류와 찹쌀가루의 호화온도 및 발효시간에 따른 약초부각 발효풀의 품질특성 변화
고영란
,
손미예
,
김윤근
외 3명
한국식품영양과학회지
2009
.02
Thermal reflow 및 UV imprinting 방식을 사용한 Micro Lens Array 제작
석수연
,
김영규
,
이성민
외 1명
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024
.07
Regulation of Micropillar Height via Replica Molding Using Photocurable Resins
전지수
,
최호원
,
조웅비
외 3명
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2022
.04
누액방지형 하이드로젤형 흡습제의 제조와 특성 연구
이종인
,
윤재욱
,
박수정
외 6명
폴리머
2021
.07
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-505-001082807