Determination of Optical Bandgap and Germanium Content of Hydrogenated Microcrystalline Si1-xGex Films by Ultraviolet-visible and Auger Electron Spectroscopy Measurements

김정수; 장경수; 박희준; 이준신

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김정수 (성균관대학교) 장경수 (성균관대학교) 박희준 (성균관대학교) 이준신 (성균관대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2017년 한국진공학회 (제52회 동계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2017.2

수록면: 314 - 314 (1page)

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