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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
김주희 (서울과학기술대학교) 박찬형 (서울과학기술대학교) 안효석 (서울과학기술대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 Tribology and Lubricants 윤활학회지 제33권 제4호
발행연도
2017.8
수록면
127 - 133 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2017

스크래치 시험을 통한 DLC 박막 파손과 밀착 특성 평가
김주희 ,  박찬형 ,  안효석 Tribology and Lubricants 2017.08 학술저널
스크래치 시험을 통한 DLC 박막 파손과 밀착 특성 평가
김주희 스마트생산융합시스템공학과 2017.01 학위논문

초록· 키워드

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In order to characterize the adhesive properties and failure mechanisms of diamond-like carbon (DLC) films of two different thicknesses (130 nm and 1.2 μm), deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition on a Si substrate, scratch testing with a micro-indenter (12.5 μm tip radius) was performed under a linearly increasing load. These scratch tests were conducted under the same test conditions for both films. The critical load of each film was estimated from the scratch test results, based on a sharp increase in the coefficient of friction and a clear distinction of failure modes. The critical load was the basis for evaluating the adhesion strength of the films, and the 1.2 μm-thick DLC film had superior adhesion strength. For better understanding of the failure modes, the following analyses were conducted: friction behavior and scratch tracks analysis using scanning electron microscopy, energy-dispersive spectroscopy, and 3-D profilometry. The scratch test results showed that failure modes were related to the thickness of the films. The 130 nm-thick DLC film underwent cohesive failure modes (cracks and chipping) before reaching to a gross failure stage. On the other hand, the thicker DLC film (1.2 μm-thick) did not exhibit micro cracks before a sudden gross failure of the film together with the evidence of cracking and chipping of the Si substrate.
#DLC film #scratch test #critical load #failure mode

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구방법 및 내용
3. 시험 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (17)

참고문헌 신청
J. Robertson, Mater., “Diamond-like amorphous carbon”, Sci. Eng., R Rep., Vol. 37, pp. 129-281, 2002. Grill, A., “Diamond-like carbon: state of the art”, Diamond RM., Vol. 8, pp. 428-434, 1999. Nir, D., “Stress relief forms of diamond-like carbon thin films under internal compressive stress”, Thin Solid Films., Vol. 112, pp. 41-50, 1984. Liu, Y., Erdemir, A., Meletis, E. I. “A study of the wear mechanism of diamond-like carbon films”, Surf. Coat. Technol., Vol. 82, pp. 48-56, 1996. Vercammen, K., Haefke, H., Gerbig, Y., Hulsel, A.V., Pfluger, E., Meneve, J. “A comparative study of state-of-the-art diamond-like carbon films”, Surf. Coat. Technol. Lett., Vol. 133, pp. 466-472, 2000.

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