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자료유형
학술저널
저자정보
김영곤 (조선이공대학교) 박용섭 (조선이공대학교)
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제34권 제1호
발행연도
2021.1
수록면
16 - 20 (5page)

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In this study, we tried finding new materials to improve the stain resistance properties of polymer insulating materials. Using the filtered vacuum arc source (FVAS) with a graphite target source, DLC thin films were depositedon silicon and polymer insulator substrates depending on their thickness to confirm the surface properties, physical properties, and structural properties of the thin films. Subsequently, the possibility of using a DLC thin film as a protective coating material for polymer insulators was confirmed. DLC thin films manufactured in accordance with the thickness of various thin films exhibited a very smooth and uniform surface. As the thin film thickness increased, the surface roughness value decreased and the contact angle value increased. In addition, the elastic modulus and hardness of the DLC thin film slightly increased, and the maximum values of elastic modulus and hardness were 214.5 GPa and 19.8 GPa, respectively. In addition, the DLC thin film showed a very low leakage current value, thereby exhibiting electrical insulation properties.
#Diamond-like carbon #Filtered vacuum arc source #Contact angle #Hardness #Surface roughness

목차

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R. K. Roy / 2007 / J. Biomed. Mater. Res., Part B 83B:72 google schola T. Hasebe / 2006 / Diamond Relat. Mater. 15:129 Crossref J. A. McLaughlin / 1996 / Diamond Relat. Mater. 5:486 Crossref P. D. Maguire / 2005 / Diamond Relat. Mater. 14:1277 Crossref E. Liu / 2008 / Thin Solid Films 516:5201 Crossref

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