Characteristics of Al₂O₃ thin films grown by using atomic layer deposition at low temperature

Suyeon Kim ,  Seung-Hun Lee ,  In Ho Jo 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

E-빔 증착된 Sn 전구체의 황화 열처리 온도 및 시간에 따른 SnSx 박막 성장 효과

황팅지엔 ,  김제하

전기전자재료학회논문지

2017 .11

원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작

최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발

이재혁 ,  최형종 ,  한권덕 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

Improved Film properties of Al₂O₃ Film Deposition on Graphene substrates deposited by UV-assisted Atomic Layer Deposition

Geonwoo Pa ,  k ,  Jeong Woo Shin 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

Atomic Layer Deposition 방법을 이용한 Zinc Oxide Hybrid 박막의 기계적 물성 향상

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN_x 박막의 전기 전도도 조절

류성연 ,  최병준

한국재료학회지

2018 .01

Enhanced electrical properties of ZrO₂ thin films using atomic layer deposition with a novel precursor

Ji Hwan Kim ,  Seung Won Lee ,  Yoonchul Shi 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2024 .10

다양한 전구체의 펄스 시간에 따른 원자층 박막 증착을 통한 박막 특성 비교

정헌준 ,  최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구

전준혁 ,  윤성호 ,  이세준 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .07

Atomic Layer Deposition on Nano-particles using External Vibration

S.W. Pa ,  k ,  G. D. Han 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

원자층 증착법으로 증착된 MoO_x를 적용한 전하 선택 접합의 이종 접합 태양전지

정민지 ,  조영준 ,  이선화 외 4명

한국재료학회지

2019 .01

상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

Bandgap Control of Sn_1-xMg_xO Semiconductor Thin Film by MgO Cycle Ratio Control in Atomic Layer Deposition Method

Jin Gi An ,  Juwon Kim ,  Donghyeop Shin 외 10명

AFORE

2023 .11

Wafer-Scale Growth of Single Phase SnS₂ by Atomic Layer Deposition

편정준 ,  백인환 ,  정택모 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

Role of a PVA layer During lithography of SnS₂ thin Films Grown by Atomic layer Deposition

Ham ,  Giyul ,  Shin 외 7명

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

Effect of purge-time of the Atomic Layer Deposition process to the moisture barrier properties of Aluminum oxide thin films

Thu Nguyen ,  김성희 ,  이준영

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .04

기능성 박막 코팅용 소형 원자층 증착 장비

정헌준 ,  박종선 ,  임진혁 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05