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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
이성준 (한동대학교) 이민교 (한동대학교) 박영춘 (한동대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제50권 제5호
발행연도
2017.10
수록면
345 - 351 (7page)

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A double-layered anti-reflective coating with hydrophilic/abrasion-resistant properties was studied using anatase titanium dioxide(TiO₂) and silicon oxycarbide(SiO<SUB>x</SUB>C<SUB>y</SUB>) thin film. TiO₂ and SiO<SUB>x</SUB>C<SUB>y</SUB> thin films were sequentially deposited on a glass substrate by DC sputtering and PECVD, respectively. The optical properties were measured by UV-Vis-NIR spectrophotometer. The abrasion-resistance and the hydrophilicity were observed by a taber abrasion tester and a contact angle analyzer, respectively. The TiO₂/SiO<SUB>x</SUB>C<SUB>y</SUB> double-layer thin film had an average transmittance of 91.3%, which was improved by 10% in the visible light region (400 to 800 nm) than that of the TiO₂ single-layer thin film. The contact angle of TiO2/SiO<SUB>x</SUB>C<SUB>y</SUB> film was 6.9° right after UV exposure. After 9 days from the exposure, the contact angle was 10.2°, which was 33° lower than that of the TiO₂ single-layer film. By the abrasion test, SiO<SUB>x</SUB>C<SUB>y</SUB> film showed a superior abrasion-resistance to the TiO₂ film. Consequently, the TiO₂/SiO<SUB>x</SUB>C<SUB>y</SUB><SUB></SUB> double-layer film has achieved superior anti-reflection, hydrophilicity, and abrasion resistance over the TiO₂ or SiO<SUB>x</SUB>C<SUB>y</SUB> single-layer film.
#Anti-reflection coating #Hydrophilicity #Anatase TiO₂ #Abrasion-resistant coating #Silicon oxycarbide

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
3. 결론
References

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
M. Mazur, D. Wojcieszak, J. Domaradzki, D. Kaczmarek, S. Song, And F. Placido, TiO2/SiO2 multilayer as an antireflective and protective coating deposited by microwave assisted magnetron sputtering, Opto-Electron. Rev., 21, no.2, (2013) 233-238. Longqiang Ye, Yulu Zhang, Xinxiang Zhang, Teng Hu, Rui Ji, Bin Ding, Bo Jiang, Sol?gel preparation of SiO2/TiO2/SiO2?TiO2 broadband antireflective coating for solar cell cover glass, Solar Energy Materials & Solar Cells, 111 (2013) 160-164. Henning Nagel, Armin G. Aberle, Rudolf Hezel, Optimised antireflection coatings for planar silicon solar cells using remote PECVD silicon nitride and porous silicon dioxide, Progress in PHOTOVOLATIAICS, Vol. 7, Issue 4 (1999) 245- 260. D. He?man, J. ?icha, J. Musil, Photoactivated properties of TiO2 films prepared by magnetron sputtering, Plasma Process. Polym. 4 (2007) S531- S535. Min-Kyo Lee, Young-Chun Park, Super-hydrophilic anatase TiO2 thin film in-situ deposited by DC magnetron sputtering, Thin Solid Films, 638 (2017) 9-16.

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