HNB(Hyper-thermal Neutral Beam)을 이용한 박막 증착 장비 개발 현황

임영

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2005 .01

태양전지용 μc-Si:H 박막의 저온증착 및 특성분석

정연식 ,  이정철 ,  김석기 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

Novel deposition technology for nano-crystalline silicon thin film at low temperature by hyper-thermal neutral beam assisted CVD system

Jang ,  Jin-Nyoung ,  Song 외 14명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01

Deposition of polycrystalline Si thin film on glass substrates by using a direct negative Si ion beam source

김유성 ,  최대한 ,  최비공 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

기능성 향상을 위한 Al과 Al-Si 박막의 증착 및 특성 연구

박혜선 ,  양지훈 ,  정재훈 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

코발트/내열금속 이중박막을 이용한 $CoSi_{2}$ 에피박막형성에 관한 연구

김종렬 ,  조윤성 ,  배규식

한국재료학회지

1995 .01

다결정 박막 실리콘 태양전지를 위한 이종 기판 위의 seed layer 제작에 관한 연구

김형남 ,  이규열 ,  김대원 외 1명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2000 .06

전기적 기판 효과에 따른 nc-Si:H 박막의 나노구조적, 화학적, 기계적 특성 분석

손종익 ,  조남희

한국재료학회 학술발표대회

2011 .01

Growth and Structural Properties of Fe Thin Films Electrodeposited on n-Si(111)

Hyun Deok Kim ,  Kyeong Won Pa ,  k 외 1명

한국정보통신학회논문지

2006 .09

RF Sputter로 증착한 $Si_{1-x}$ $C_x$ 박막 내 실리콘 양자점의 광학적 특성평가

문지현 ,  김현종 ,  이정철

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

RF Power에 따른 BST박막의 특성

최명률 ,  권학용 ,  박인철 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

SiN 박막을 이용한 Si Nanodot의 형성

이장우 ,  박익현 ,  신별 외 1명

공업화학

2005 .01

Sputtering 방법에 의하여 증착된 Si₃N₄ 기체 투과 방지 박막의 특성

조계영 ,  이다은 ,  강보성 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구

주병권 ,  방준호 ,  이윤희 외 2명

한국재료학회지

1994 .01

P-CVD에 의한 Undoped a-Si:H 박막의 증착

이정한 ,  장병수

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

P-CVD에 의한 Undoped a-Si : H 박막의 증착 ( undoped a-Si : H thin films by Plasma Deposition )

이정한 ,  장병수

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

Rf 마그네트론 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 $RuO_2$ 박막의 특성분석

조호진 ,  홍석경 ,  조해석 외 2명

한국재료학회지

1995 .01