대면적 표면처리를 위한 양극층 선형 이온원 개발

김종국; 강용진; 김도현; 장영준

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김종국 (재료연구소) 강용진 (재료연구소) 김도현 (재료연구소) 장영준 (재료연구소)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2017 한국생산제조학회 추계학술대회 논문집

발행연도: 2017.12

수록면: 29 - 29 (1page)

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