대면적 가공을 위한 저전력 ECR 플라즈마 이온원 개발

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저자정보: 송규 (한국전자기계융합기술원) 윤찬녕 (한국전자기계융합기술원) 박형주 (한국전자기계융합기술원) 박정남 (한국전자기계융합기술원) 장동영 (한국전자기계융합기술원)

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#Electron cyclotron resonance plasma #Low-power ECR #Plasma ion source #Plasma ion gun #Focused ion beam

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UCI(KEPA) : I410-ECN-151-24-02-090056076

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AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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