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유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
친환경 냉매가 원심식 압축기의 공력특성에 미치는 영향에 대한 수치해석적 연구
한국유체기계학회 학술대회 논문집
2024 .07
입자 코팅이 가능한 소형 및 저가형 원자층 증착 장비
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
반도체 제조 장비와 전산유체역학
한국전산유체공학회 학술대회논문집
2023 .05
기능성 박막 코팅용 소형 원자층 증착 장비
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
Characteristics of Al₂O₃ thin films grown by using atomic layer deposition at low temperature
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
나노 파우더 원자층 증착을 위한 모듈 개발 및 평가
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
Atomic Layer Deposition 방법을 이용한 Zinc Oxide Hybrid 박막의 기계적 물성 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
원자층 증착법으로 증착된 MoO<sub>x</sub>를 적용한 전하 선택 접합의 이종 접합 태양전지
한국재료학회지
2019 .01
Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .05
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