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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
윤여원 (서강대학교) 이정철 (서강대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2017년도 학술대회
발행연도
2017.11
수록면
2,893 - 2,898 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2017

하이드로젤 쉐도우 마스크를 이용한 금속 박막 압저항 소자 통합 하이드로젤 멤브레인 레조네이터
윤여원 ,  이정철 대한기계학회 춘추학술대회 2017.11 학술대회자료
하이드로젤 멤브레인 압력 센서의 제작과 특성화
윤여원 ,  이정철 대한기계학회 춘추학술대회 2017.05 학술대회자료

2016

동적마스크를 이용한 다양한 하이드로젤 멤스 공진기 제작
윤여원 ,  김석범 ,  이정철 대한기계학회 춘추학술대회 2016.12 학술대회자료

초록· 키워드

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This paper reports mechanical resonators with thin metal piezoresistors deposited through a hydrogel shadow mask to enable electrical readouts of resonators’ static deflection and resonant frequency. First, circular membrane resonators are simply fabricated by projecting spatially-modulated UV light onto thin polyethyleneglycol diacrylate (PEG-DA) prepolymer on polymethylmetacrylate (PMMA) – polydimethylsiloxane (PDMS) composite substrates with a Digital micromirror device (DMD)-based dynamic mask lithography. Then, the PDMS is plugged out from the composite substrate in dry state to define free-standing circular membrane resonators with diameters of 1 mm and thicknesses of 15 μm. Hydrogel (PEG-DA) shadow masks are also fabricated with the DMD-based dynamic mask lithography. Thickness of PEG-DA shadow masks are 100 μm and the minimum dimension of the opening is 30 μm. With a hydrogel shadow mask placed over a hydrogel membrane resonator, thin metal (Ti/Au) films, 40 and 80 nm thick, respectively, are deposited by an electron beam evaporator. The deposited thin metal film piezoresistor along with three off-chip resistors constructs a Wheatstone bridge that is interfaced with a differential amplifier. With this circuitry, deflection and resonant frequency of hydrogel membrane resonators are electrically monitored and compared with measurements by a typical reflection-type optical readout.
#Hydrogel(하이드로젤) #Piezoresistor(압저항 소자) #Resonator(공진기) #Shadow mask(쉐도우 마스크)

목차

Abstract
1. 서론
2. 제작 공정
3. 실험 결과
4. 결론
참고문헌

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