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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
윤여원 (서강대학교) 김석범 (서강대학교) 이정철 (서강대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2016년도 학술대회
발행연도
2016.12
수록면
1,031 - 1,034 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2017

하이드로젤 쉐도우 마스크를 이용한 금속 박막 압저항 소자 통합 하이드로젤 멤브레인 레조네이터
윤여원 ,  이정철 대한기계학회 춘추학술대회 2017.11 학술대회자료
하이드로젤 멤브레인 압력 센서의 제작과 특성화
윤여원 ,  이정철 대한기계학회 춘추학술대회 2017.05 학술대회자료

2016

동적마스크를 이용한 다양한 하이드로젤 멤스 공진기 제작
윤여원 ,  김석범 ,  이정철 대한기계학회 춘추학술대회 2016.12 학술대회자료

초록· 키워드

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This paper reports a new fabrication method for fabricating various hydrogel MEMS resonators by applying dynamic mask lithography on an acrylic substrate with a drilled hole which is molded with polydimethylsiloxane (PDMS). Polyethylene-glycol (diacrylate) (PEG-DA) mixed with a photoinitiator is applied between the acrylic-PDMS composite block and a PDMS cover with a fixed-depth recess. It is subsequently cured with an intended shape defined by the image projected by a digital micro-mirror device (DMD). After the dynamic projection, the top PDMS cover is removed and the remaining part is washed with isopropyl alcohol. This step removes unexposed PEG-DA. Finally, the acrylic substrate with the cured PEG-DA structure firmly attached is separated from the acrylic-PDMS composite block to make a free-standing structure. Three different types, cantilever, bridge, and membrane, of hydrogel resonators are fabricated with various sizes and shapes.
#Dynamic Mask(동적마스크) #Hydrogel(하이드로젤) #Resonator(공진기) #Permeable Layer(투과층)

목차

Abstract
1. 서론
2. 제작 공정
3. 실험 결과
4. 결론
참고문헌

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