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전해에칭 보호 마스크로 활용하기 위한 도금층의 레이저 패터닝
한국생산제조학회지
2018 .02
펄스 레이저를 이용한 알루미늄 표면의 패터닝 특성에 대한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
구리 보호층을 이용한 전해에칭에서의 다층구조 제작
한국기계가공학회지
2019 .02
레이저를 이용한 회로 패터닝
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
펄스 레이저를 이용한 표면 패터닝과 경도 향상에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
레이저 패터닝 공정을 이용한 Al 전극 제조
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
패터닝한 구리층을 이용한 전해에칭 공정에서의 형상 변화에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
습식식각을 이용한 나노박막 패터닝 기술
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
레이저 마스킹과 직류전원을 이용한 선택적 전해도금
한국생산제조학회지
2015 .02
레이저를 이용한 전도성 폴리머 전극 패터닝
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .07
레이저빔 가공 인자에 따른 구리도금 미세 패터닝 특성 연구
융ㆍ복합기술연구소 논문집
2015 .01
전해도금을 이용한 금속의 전해에칭
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
전해에칭을 이용한 마이크로 핀의 형상 조절 및 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
상향식 레이저 마이크로 패터닝 공정 및 응용
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .05
Use of Hard Mask for Finer (<10 μm) Through Silicon Vias (TSVs) Etching
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2015 .01
깊은 전해에칭에서의 형상 변화 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
레이저를 이용한 후면 도선 패터닝
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2016 .04
고종횡비 구조물의 정밀 제작을 위한 DRIE 식각 마스크
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
레이저 기반 에너지 소자용 탄소 전극 패터닝 기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
Area-Selective Atomic Layer Deposition and Atomic Layer Etching for 3-D Nano-Patterning Processes
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
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