깊은 전해에칭에서의 형상 변화 연구

신홍식 ,  박혜준

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

깊은 전해에칭을 이용한 관통 패턴 제작

신홍식 ,  박혜준

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09

패터닝한 구리층을 이용한 전해에칭 공정에서의 형상 변화에 관한 연구

신홍식 ,  이지승

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

구리 보호층을 이용한 전해에칭에서의 다층구조 제작

신홍식

한국기계가공학회지

2019 .02

펄스 조건에 따른 구리의 전해증착 특성

정병우 ,  박광구 ,  류시형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

Electrochemical polishing of STS316L by laser metal deposition

Uk-Su Kim ,  Ki-Gwon Kim ,  Jeong-Woo Pa 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

전기화학과 화학적 에칭 금속 박판 홀 가공 특성 분석

최웅걸 ,  김성현 ,  최승건 외 4명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .10

전해에칭을 이용한 마이크로 핀의 형상 조절 및 분석

박종욱 ,  주종남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

AFM 을 이용한 전해증착에서 표면거칠기의 영향

박광구 ,  류시형 ,  최덕기

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

High aspect ratio silicon etching based on Metal-Assisted Chemical Etching process

Seung Deok Kim ,  Maeum Han ,  Jae Yong Lee 외 6명

대한전자공학회 학술대회

2023 .06

모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화

유승기 ,  김재경 ,  전의식

한국기계기술학회지

2015 .01

Use of Hard Mask for Finer (<10 μm) Through Silicon Vias (TSVs) Etching

홍상진 ,  최소망

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2015 .01

건식 식각 공정 쿼츠의 제작방식에 따른 부품 식각에 관한 연구

임동민 ,  유준현 ,  이종화

대한전자공학회 학술대회

2021 .11

무전해도금과 전기화학도금을 이용한 구리-백금 2층구조를 가지는 전도성 나노섬유 네트워크의 분석

우현수 ,  김건휘

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .04

이방성 에칭 첨가제 기술로 제작된 인쇄회로 열교환기의 성능 평가

김보겸 ,  류진우 ,  홍오원 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

전해에칭 마스크로 활용하기 위한 도금층의 펄스 레이저 패터닝

신홍식 ,  김성진 ,  이지승

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

유기 킬레이터 물질의 고밀도 플라즈마를 이용한 구리 박막의 나노미터 스케일 식각

이지수 ,  임은택 ,  차문환 외 2명

전기전자재료학회논문지

2021 .01

Development of apparatus for Single-sided Wet Etching and its applications in Corrugated Membrane Fabrication

김준수 ,  문원규

센서학회지

2021 .01

전기화학식각법을 이용한 Ge 마이크로 구조 제작

봉해균 ,  김경환 ,  오정우

대한전자공학회 학술대회

2022 .06