초고집적 소자 제조를 위한 건식 식각 기술 동향

권광호 ,  김보우

전자공학회지

1991 .09

디스플레이 공정용 건식 식각 장비의 시뮬레이션 기술

최희환

인포메이션 디스플레이

2015 .01

축전결합 $CF_4$/$O_2$/$A_r$ 플라즈마에 의한 Polymethyl methacrylate (PMMA)와 Polycarbonate건식식각 비교

노호섭 ,  박연현 ,  이성현 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

실리카 식각공정 기술동향

박상호 ,  성희경 ,  최태구

[ETRI] 전자통신동향분석

1999 .02

C₂C1F₅-O₂혼합가스를 사용한 포토레지스트의 건식식각 특성

최영규 ,  이진희 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1986 .06

CH₄/H₂를 사용한 InP계 광전소자의 건식 식각 공정에 관한 연구

박종대 ,  유지범 ,  박찬용 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

건식식각장치에서 임피던스 측정과 비등방성 식각에 대한 연구

김종식 ,  김흥락 ,  강봉구 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

저유전 SiO2 에어로겔 박막의 건식식각 특성연구

왕석주 ,  박형호

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

단결정 실리콘의 이방성 습식식각

조남인 ,  김민철 ,  강찬민

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

반도체 제조용 식각기술

한국발명진흥회

발명특허

2005 .01

NLD Plasma 식각 공정을 이용한 $LiNbO_3$ 광 도파로의 식각 Profile의 특성

박우정 ,  양우석 ,  이승태 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

$SF_6$/$O_2$/$CH_4$ 플라즈마를 이용한 플렉시블 폴리머의 반응성 이온 식각에 관한 연구

주영우 ,  김재권 ,  박연현 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성

김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

플라즈마를 이용한 GaAs 반응성 이온 식각

이성현 ,  노호섭 ,  최경훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구

함동은 ,  신수범 ,  안진호

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

고집적 메모리소자의 캐패시터 전극용 백금 박막의 건식 식각 기술

김권식 ,  김형준

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

MIM 커패시터의 Metal 게이트 전극을 위한 TiN 박막의 건식 식각 연구

박정수 ,  주영희 ,  우종창 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .10

고밀도 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성 분석

강찬민 ,  김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07