반도체 제조공정의 자동화 기술 동향

이치열 ,  최낙만

전자공학회지

1987 .08

반도체 제조공정의 조립자동화 기술

변증남 ,  유범재 ,  오상록 외 1명

전기의세계

1990 .06

반도체 생산공정의 제조생산성 및 자동화

구평회 ,  황경현

제어로봇시스템학회지

1998 .07

반도체에 관하여

염곡훈

전자공학회지

1965 .07

[반도체생산자동화 연구회] 반도체 제조장치 및 공정의 최신 동향

김두형 ,  황경현

제어로봇시스템학회지

2005 .03

레이저를 이용한 반도체공정

최웅림 ,  구자강 ,  권오대

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

반도체 제조공정의 오염제어기술 및 사례

서동량

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

1993 .11

반도체제조의 생산성 제고를 위한 반도체 공정 주변기술

이용일 ,  배남진

[ETRI] 전자통신동향분석

1988 .03

반도체 공정 overview

서정헌

전자공학회지

2001 .08

[반도체생산자동화 연구회] 반도체ㆍFPD 세정공정 및 기술 동향

김두형 ,  황경현

제어로봇시스템학회지

2004 .01

반도체 공정분야 산 · 학 협동 연구사례

오재웅

대한전자공학회 세미나

1992 .01

반도체 기술

이진효

전자공학회지

1987 .04

반도체 기술

유영욱

정보화사회

1989 .01

공정자동화와 자료의 자동처리

문동완

가전시대

1994 .01

반도체 제조를 위한 엣칭 공정의 생산관리에 관한 연구

신용호 ,  서정원 ,  이태억

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

1996 .10

최신 반도체 공정기술

김도영

전자공학회지

2015 .01

생산공정의 자동화에 관하여 ( I )

이봉진

대한기계학회지

1980 .02

반도체 제조공정에서의 환경제어 기술

김용진

대한기계학회지

1993 .02

반도체공정제어 현황 및 발전방향

엄민용

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2018 .04

'91년도 반도체산업의 전망과 대응

김주범

전자진흥

1991 .01