Experimental investigation on the plasma generation efficiency and plasma parameters in inductively coupled plasmas with a serial and a parallel antenna

김태우 ,  강현주 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Experimental investigation on plasma density distribution at a wafer-level in an inductively coupled plasma using multiple passive resonant antennas

홍영훈 ,  김주호 ,  이무현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

Effect of rf bias power on plasma density and electron heating in inductively coupled plasma (ICP)

이호원 ,  김주호 ,  정진욱

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Inductively Coupled Plasma 장치에서 Hybrid Plasma Model을 활용한 C₂F₈/ O₂ 가스의 특성 해석

김환호 ,  이정열 ,  박희성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Oxide 및 Nitride 고선택비 식각 공정에서의 CF4(CHF3)/O2/Ar inductively coupled pulsed plasmas

김희주 ,  신예지 ,  김교운 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

플라즈마 진단 센서를 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 시스템

온범수 ,  신기원 ,  이태현 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

플라즈마 진단 시스템을 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 실험

박연수 ,  신기원 ,  김우재 외 5명

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2021 .02

낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구

탁현우 ,  문룡 ,  성다인 외 3명

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2020 .02

Dry etching of Al₂O₃ thin films in inductively coupled plasma system

Seok SON ,  Young Hee JOO ,  Chang Il KIM

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Analysis of chemical reactions of CF₄ and C₄F₈ for inductively coupled plasma based on plasma parameters

J. J. Lee ,  S. J. Kim ,  Y. S. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

유도 결합 플라즈마에서 E - H 모드 전이 중 안테나 전류 감소와 히스테리시스 발생

문준현 ,  김경현 ,  이무영 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Inductively Coupled Plasma Simulation Based on Electron Energy Distribution Function and Process Pressure

So ,  a Lee ,  Yejin Shon 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

2020 .11

Dependence of gas pressure and flow rate in an inductively coupled plasma with remote source

백세열 ,  김경현 ,  이호원

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

[플라즈마학술상] 대기압 플라즈마 기술 및 우주용 플라즈마 추진기술 연구 개발

최원호

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마에서 이온 밀도 및 플라즈마 발생 효율 측정

정대철 ,  정진욱

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2019 .08

산업공정 플라즈마에서 극판 전력이 플라즈마 변수에 미치는 영향

이효창

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2018 .02

Research on parallelization mechanism of inductively coupled plasma for large area plasma source

이장재 ,  김시준 ,  김광기 외 5명

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2016 .02

Metal window를 갖는 평판형 유도 결합 플라즈마 장치에 대한 고찰

주정훈

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2017 .08

What do we know about plasma?

유석재

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2020 .02

Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma

Kwan-Yong Kim ,  Kyung-Hyun Kim ,  Young-Hun Hong 외 2명

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2018 .08