HF/H2O2용액 처리된 Pd 코팅 실리콘 필름의 수소 센싱 특성 향상에 관한 연구

김형균; Gao Min; 박인규

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김형균 (한국과학기술원) Gao Min (한국과학기술원) 박인규 (한국과학기술원)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 2018년도 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2018.5

수록면: 45 - 45 (1page)

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#Gas Sensor #Metal-assisted Chemical Etching #Hydrogen Sensor #Silicon Gas Sensor

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김형균

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Gao Min

소속기관 한국과학기술원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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소속기관 한국과학기술원

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