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민주화 (전북대학교) 채범석 (전북대학교) 서용석 (전북대학교) 김진호 (삼성전자) 김현배 (삼성전자)
저널정보
전력전자학회 전력전자학회 학술대회 논문집 전력전자학회 2018년도 전력전자학술대회 논문집
발행연도
2018.7
수록면
75 - 77 (3page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2022

RF 플라즈마 공정의 빠른 임피던스 정합기를 위한 전력변환기 기반 가변 커패시터 시스템
민주화 전기공학(전기공학) 2022.01 학위논문

2020

RF 임피던스 정합기의 커패시턴스 가변 시간이 개선된 하이브리드 가변 커패시터 방식
민주화 ,  서용석 전력전자학회 학술대회 논문집 2020.08 학술대회자료

2019

대칭적인 스위치 구조 기반 RF 플라즈마 시스템 적용 전기적 가변 커패시터
민주화 ,  채범석 ,  김현배 외 1명 전력전자학회논문지 2019.06 학술저널
RF 플라즈마 시스템에서 전기적 가변 커패시터의 대칭적인 스위치 구조를 활용한 전압 스트레스 저감 방법
민주화 2019.01 학위논문

2018

양방향 스위치 기반 RF플라즈마 시스템 적용 전기적 가변 커패시터
민주화 ,  채범석 ,  서용석 외 2명 전력전자학회 학술대회 논문집 2018.07 학술대회자료

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RF 임피던스 정합기의 커패시턴스 가변 시간이 개선된 하이브리드 가변 커패시터 방식
민주화 ,  서용석 전력전자학회 학술대회 논문집 2020 .08

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