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저자정보
장광호 (국가핵융합연구소(NFRI)) 박수연 (광운대학교) 최진주 (광운대학교) 이동헌 (알에프피티)
저널정보
한국전자파학회 한국전자파학회논문지 韓國電磁波學會論文誌 第29卷 第7號(通卷 第254號)
발행연도
2018.7
수록면
484 - 490 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2018

13.56 MHz 임피던스 자동 정합 시스템을 위한 임피던스 에러율 향상 알고리즘
장광호 ,  박수연 ,  최진주 외 1명 한국전자파학회논문지 2018.07 학술저널

2014

13.56MHz 플라즈마 자동 임피던스 정합 회로 구현에 관한 연구
장광호 2014.01 학위논문

초록· 키워드

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본 논문은 13.56 MHz 임피던스 자동 정합 시스템 내의 VI 센서를 이용하여 전압 신호와 전류 신호를 측정하고, 부하 임피던스를 계산하는 새로운 알고리즘에 대해서 기술하였다. 기존의 50 Ω 교정 부하로 하던 방식에서 벗어나 임의의 복소수 교정 부하를 사용하여 에러율이 향상되는 알고리즘을 제안한다. 에러율은 RIN 평균 1 % 이하, XIN은 평균 20 % 이하 목표로 한다. 일차적으로 믹서를 사용하여 IF 주파수를 계산하여 에러율을 줄였고, 두 번째로 임의의 복소수 부하를 교정 부하로 사용하였을 때 에러율이 RIN은 평균 2.7 %에서 평균 0.3 %로 감소하였고, XIN은 평균 102 %에서 평균 18.3 %까지 감소하였습니다.
#13.56 MHz #Impedance Auto Matching System #Vi Sensor #Complex Load Calibration

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ 자동 정합 시스템
Ⅲ. VI 센서
Ⅳ. 임피던스 계산
Ⅴ. 입력 감지기 측정
Ⅵ. 결론
References

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
[단행본] - L. E. Frenzel / 2004 / RF Power for Industrial Applications / Pearson Prentice Hall google schola [학위논문] - 장광호 / 2014 / 13.56MHz 플라즈마 자동 임피던스 정합 회로 구현에 관한 연구 / 석사 / 광운대학교 대학원 dbpia [학술대회논문] - 최대규 / 1995 / 플라즈마 발생 전원장치와 자동정합회로 / 한국조명.전기설비학회 추계학술발표회논문집 : 60 ~ 63 dbpia [학술지(정기간행물)] - 최대규 / 2002 / 플라즈마 발생용 자동정합회로 / 전력전자학회지 7 (1) : 16 ~ 20 dbpia [기타자료] - Advanced Energy / 2006 / Impedance matching, ENG-WHITE 18-270-02 google schola

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