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학술저널
저자정보
이덕영 (AP시스템 중국법인) 신동원 (금오공과대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.35 No.9
발행연도
2018.9
수록면
867 - 874 (8page)
DOI
10.7736/KSPE.2018.35.9.867

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UVW Stage is widely used in manufacturing processes of PCB, LCD, OLED, and semiconductor industries. The precision of UVW Stage is closely associated with the quality of products. Two approaches for kinematics of UVW Stage are proposed for comparative analysis. Program of proposed kinematics algorithm is developed for motion control and applied to UVW Stage driving. The position of the stage for each algorithm is sequentially measured by laser interferometer. Both virtual stage and real stage are used for accuracy analysis. The performance of each algorithm is evaluated based on this accuracy analysis.
#UVW Stage (UVW 스테이지) #Kinematics (기구학) #Accuracy (정확도) #Motion control (모션 제어)

목차

1. 서론
2. UVW 스테이지의 구조 및 모션형태
3. UVW 스테이지의 두가지 기구학 방법
4. 스테이지의 정확도 분석 방법의 체계
5. 결론
REFERENCE

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
Shin, D., “Measurement and Correction of PCB Alignment Error for Screen Printer Using Machine Vision (1),” Journal of the Korean Society of Precision Engineering, Vol. 20, No. 6, pp. 88- 95, 2003. Park, J.-Y., Han, S.-Y., Lee, N.-H., Choi, J.-O., and Shin, H.-S., “Alignment System Development for Producing OLED Using Fourth-Generation Substrate,” Proc. of Korean International Display Society Conference, pp. 873-878, 2008. Kim, J. S., Hwang, J. D., Kim, M. S., Yoo, J. C., and Ahn, J. H., “Development of the Thin - Alignment Stage for Fine Positioning,” Proc. of KSPE Autumn Conference, pp. 305-306, 2006. Han, S.-J., Park, J.-H., and Park, H.-J., “Development of Three DOF Alignment Stage for Vacuum Environment,” Journal of the Korean Society for Precision Engineering, Vol. 18, No. 11, pp. 138-147, 2001. Kim, D. M., Kim, K. H., Lee, S. Q., and Gweon, D. G., “Optimal Design and Control of xyθ Fine Stage in Lithography System,” Journal of the Korean Society of Precision Engineering, Vol. 19 No. 12, pp. 163-170, 2002.

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