메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
홍태화 (한국산업기술대학교) 이진호 (아주대학교) 김효영 (한국생산기술연구원) 김기현 (한국산업기술대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.37 No.8
발행연도
2020.8
수록면
587 - 593 (7page)
DOI
10.7736/JKSPE.020.017

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
Recently, instrument stages using flexure guide mechanisms and piezo actuators have been widely used for an ultra-precision positioning system in various industries. Research into ultra-precision position control aiming at nanoscale position errors during stage driving is being actively conducted, as well as various studies on the motion profile adjusting the reference input. In this study, we suggested a motion profile with snap and feedforward for use with a high speed nano scanning system, as compared and analyzed with the position tracking error through feedback control, and also compared to the related feed with the forward control noted as minimized at the position error to 14.19 nm. As a result, a tracking error when applying the fourth profile with snaps to the piezoelectric stage, is obtained with an error reduction effect of about 15%, as compared to when the second profile is applied.
#Motion profile (모션프로파일) #Flexure Piezo stage (유연 피에조 스테이지) #Tracking error (추종오차) #Feedback control (피드백 제어) #Feedforward control (피드포워드 제어) #Snap (스냅)

목차

1. 서론
2. 시스템 구성
3. 모션 프로파일 설계
4. 시뮬레이션 결과
5. 실험 결과
6. 결론
REFERENCES

참고문헌 (20)

참고문헌 신청
Li, H., Le, M., Gong, Z., and Lin, W., “Motion Profile Design to Reduce Residual Vibration of High-Speed Positioning Stages,” IEEE/ASME Transactions on Mechatronics, Vol. 14, No. 2, pp. 264-269, 2009. google schola Chang, B. H. and Hori, Y., “High Speed Positioning Trajectory Design for TDOF Controller of Hard Disk Drives with Mechanical Vibration,” Proc. of the 8th IEEE International Workshop on Advanced Motion Control, pp. 317-322, 2004. google schola Piazzi, A. and Visioli, A., “Global Minimum-Jerk Trajectory Planning of Robot Manipulators,” IEEE Transactions on Industrial Electronics, Vol. 47, No. 1, pp. 140-149, 2000. google schola Meckl, P. H. and Arestides, P. B., “Optimized S-Curve Motion Profiles for Minimum Residual Vibration,” Proc. of the American Control Conference, pp. 2627-2631, 1998. google schola Rew, K. H. and Kim, K. S., “A Closed-Form Solution to Asymmetric Motion Profile Allowing Acceleration Manipulation,” IEEE Transactions on Industrial Electronics, Vol. 57, No. 7, pp. 2499-2506, 2009. google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

Optimal Design of a Multi-Layer Lever Type Flexure Hinge for High Magnification
추이쉰 ,  김화영 ,  안중환 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2018 .12
A flexure-based linear motion stage with parallel actuation mechanisms driven by piezo actuators
Kee-Bong Choi ,  Jae Jong Lee ,  Gee-Hong Kim 외 1명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2012 .10
Compliance Analysis and Design Optimization of a 2-DOF Precision Positioning Stage based on Serial Mechanism for Enhanced Resonance Frequency Isotropy
신현표 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2020 .06
Computational Framework for Usage Stage Modeling of Machines in Life Cycle Assessment
마정목 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2019 .11
Comparative Analysis for Kinematics and Accuracy for High-Precision 3-Axis UVW Stage
이덕영 ,  신동원 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2018 .09

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0