DC 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 TiNi 형상기억합금 박막의 상변태 거동 특성

배주현; 허선철; 최병근; 정효민; 노정필

doi:10.5916/jkosme.2018.42.9.715

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저자정보: 배주현 (Gyeongsang National University) 허선철 (Gyeongsang National University) 최병근 (Gyeongsang National University) 정효민 (Gyeongsang National University) 노정필 (Gyeongsang National University)

저널정보: 한국마린엔지니어링학회 Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET) 한국마린엔지니어링학회지 제42권 제9호

발행연도: 2018.11

수록면: 715 - 718 (4page)

DOI: 10.5916/jkosme.2018.42.9.715

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TiNi 형상기억합금 박막은 마이크로 머신을 구동하기 위한 초소형 엑츄에이터로 활용될 수 있는 매우 매력적인 재료이다. 본 연구에서는 다양한 박막제조방법 중에서 산업적으로 가장 널리 사용되고 있는 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 TiNi 형상기억합금 박막을 제조하였다. EDS, FE-SEM, XRD, DSC, 저온XRD실험을 통하여 제조된 박막의 상변태 거동에 영향을 미치는 열처리 조건 및 결정립 크기 영향에 대해서 조사하였다. 상온에서 증착된 as-deposited 박막은 비정질 상태이었으며, 873K에서 1시간 동안 진공열처리함으로써 완전한 결정질 박막을 얻을 수 있었다. 하지만 결정립 사이즈 효과로 인하여 상변태 (오스테나이트->마르텐사이트) 개시온도가 123K이하로 매우 낮아진다는 것을 확인하였다.

#TiNi 박막 #형상기억합금 #상변태 거동 #결정립 크기 #TiNi thin film #Shape memory alloy #Phase transformation behavior #Grain size

참고문헌 (10)

참고문헌 신청

[학술지(정기간행물)] - S. Miyazaki / 1999 / Martensitic transformation and shape memory behavior in sputter-deposited TiNi-base thin films / Materials Science and Engineering A 273-275 : 106 ~ 133

[학술지(정기간행물)] - K. Otsuka / 2005 / Physical metallurgy of Ti-Ni-based shape memory alloys / Progress in Materials Science 50 (5) : 511 ~ 678

[학술지(정기간행물)] - H. Rodrigue / 2015 / SMA-based smart soft composite structure capable of multiple modes of actuation / Composites Part B: Engineering 82 : 152 ~ 158

[학술지(정기간행물)] - G. Yuan / 2016 / Enhancement of interfacial bonding strength of SMA smart composites by using mechanical indented method / Composites Part B: Engineering 106 : 99 ~ 106

[학술지(정기간행물)] - J. Raghavan / 2010 / Damping, tensile, and impact properties of superelastic shape memory alloy (SMA) fiber-reinforced polymer composites / Composites Part B: Engineering 41 (3) : 214 ~ 222

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