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배주현 (Gyeongsang National University) 허선철 (Gyeongsang National University) 최병근 (Gyeongsang National University) 정효민 (Gyeongsang National University) 노정필 (Gyeongsang National University)
저널정보
한국마린엔지니어링학회 Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET) 한국마린엔지니어링학회지 제42권 제9호
발행연도
2018.11
수록면
715 - 718 (4page)
DOI
10.5916/jkosme.2018.42.9.715

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TiNi 형상기억합금 박막은 마이크로 머신을 구동하기 위한 초소형 엑츄에이터로 활용될 수 있는 매우 매력적인 재료이다. 본 연구에서는 다양한 박막제조방법 중에서 산업적으로 가장 널리 사용되고 있는 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 TiNi 형상기억합금 박막을 제조하였다. EDS, FE-SEM, XRD, DSC, 저온XRD실험을 통하여 제조된 박막의 상변태 거동에 영향을 미치는 열처리 조건 및 결정립 크기 영향에 대해서 조사하였다. 상온에서 증착된 as-deposited 박막은 비정질 상태이었으며, 873K에서 1시간 동안 진공열처리함으로써 완전한 결정질 박막을 얻을 수 있었다. 하지만 결정립 사이즈 효과로 인하여 상변태 (오스테나이트->마르텐사이트) 개시온도가 123K이하로 매우 낮아진다는 것을 확인하였다.

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 실험결과
4. 결론
References

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