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논문 기본 정보

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저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제33권 제2호
발행연도
2020.1
수록면
114 - 117 (4page)

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본 연구에서 저자는 DC 마그네트론 스퍼터링 법으로 알루미늄 박막이 증착에 관하여 다루었다. 성장된 박막의 전기적, 구조적 특성을 평가하기 위하여 성장 조건들이 41.6에서 216 W 스퍼터링 파워와 5.35에서 26.39 nm/min 박막 성장속도에 따라서 변경되었다. 성장속도와 미세구조는 주사전자현미경과 엑스레이 분광법에 의하여 분석되었다. 위의 평가로 부터 알루미늄 박막은 (111) 면 방향으로 우선 성장하고 있었으며 DC power가 증가함에 따라 결정립계에 의한 결함이 증가하였다. 50nm 이상의 알루미늄 박막의 비저항은 박막성장 과정에서 결정립계의 수평 성장에 의하여 일정한 값을 보였다. 본 논문의 결과로부터 나노 템플레이트용 양극산화알루미늄의 응용 가능성을 알 수 있었다.

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