미세공정을 이용한 p+ 실리콘 전극 제작 및 플라즈마 실험

공현구; 양상식

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 공현구 (아주대학교) 양상식 (아주대학교)

저널정보: 대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2018년도 대한전기학회 전기물성∙응용부문회 추계학술대회 논문집

발행연도: 2018.10

수록면: 15 - 16 (2page)

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