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저자정보
이재창 (영남이공대학교) 고은영 (경북대학교) 이광일 (경일대학교) 양승한 (경북대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.36 No.1
발행연도
2019.1
수록면
89 - 94 (6page)
DOI
10.7736/KSPE.2019.36.1.89

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A new technique based on the reversal method, is suggested to measure squareness error of the two-linear axes system. The technique uses the L-type steel bar, a capacitive sensor, and three experimental installations required to measure squareness error and two horizontal straightness errors. Profile and squareness of the L-type steel bar are estimated, by using the principle of the reversal method. Also, setup errors inevitable at installation, are separated from measured data using the least square method. Multi-DOF errors of two-linear axes system are measured and analyzed, using the suggested technique. Also, the reference mirror with flatness of 30 nm is used to verify the suggested measurement technique. Difference between the two measurement methods is 3.25 arcsec, a value within measurement repeatability.
#Positioning accuracy (위치 정확도) #Geometric error (기하학적 오차) #Squareness error (직각도 오차) #Reversal method (반전법)

목차

1. 서론
2. 반전법 기반의 다자유도 오차 측정 기법
3. 다자유도 오차 측정 실험 및 타당성 검증
5. 결론
REFERENCES

참고문헌 (15)

참고문헌 신청
Lee, K.-I. and Yang, S.-H., “Accuracy Evaluation of Machine Tools by Modeling Spherical Deviation Based on Double Ball- Bar Measurements,” International Journal of Machine Tools and Manufacture, Vol. 75, pp. 46-54, 2013. google schola Slocum, A., “Kinematic Couplings: A Review of Design Principles and Applications,” International Journal of Machine Tools and Manufacture, Vol. 50, No. 4, pp. 310-327, 2010. google schola Lee, J.-C., Lee, K.-I., and Yang, S.-H., “Development of Compact Three-Degrees-of-Freedom Compensation System for Geometric Errors of an Ultra-Precision Linear Axis,” Mechanism and Machine Theory, Vol. 99, pp. 72-82, 2016. google schola ISO 230-1:2012, “Test Code for Machine Tools - Part 1: Geometric Accuracy of Machines Operating Under No-Load or Quasi-Static Conditions,” 2012. google schola Kreng, V., Liu, C., and Chu, C., “A Kinematic Model for Machine Tool Accuracy Characterisation,” The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, Vol. 9, No. 2, pp. 79-86, 1994. google schola

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