지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2018.12
- 수록면
- 1,818 - 1,821 (4page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Micro- and nanofluidic devices are being used increasingly in biological, chemical, and medical applications, and many fabrication methods have been proposed. Using the fabricated nanochannels, the generation of ion concentration polarization, a novel transport phenomenon in nanofluidics, was investigated. Our novel fabrication method should be a useful tool for various nanofluidic applications due to its various advantages, including simple fabrication process, controllability, and duplicability. Conventional micro fabrication techniques have been improved to overcome their limitations by developing various methods with a three-dimensional structure. Three dimensional structure or various patterns in shape have been realized, but the process is slightly complicated and the efficiency is low. Nowadays, more efficient and simple fabrication methods are required for the application of various micro-structure based components/devices and systems. In this study, we developed novel fabrication technique to fabricate various tilted micro-structures with a different angle on single substrate using a synchrotron X-ray lithography. Here, we have shown the unique fabrication technique which is based on synchrotron x-ray irradiation and curved/flexible x-ray mask/substrate. Tilted microstructure can have various angles and directions in single substrate.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Experiment
3. Result
4. Conclusion
Reference
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Synchrotron Small Angle X-ray Scattering and its applications for polymer science
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .04
-
산화아연 나노구조를 이용한 이온농도분극현상의 유도
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
-
A Review - Productivity Enhancements of Micro/Nano Patterning Methods -
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2018 .11
-
Recent Progress in Nano-/Micro-Fabrication Technologies
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2018 .11
-
Shape Profiling Technique of Photolithography Pattern Using Synchrotron Small-angle X-Ray Scattering
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2023 .10
-
Improved Process for the Fabrication of High-Performance Graphene Micro-Patterns
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2022 .10
-
Advanced Synchrotron-Based X-Ray Characterization Studies for Next-Generation Battery Materials
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2024 .09
-
Measurement of two-phase flows with synchrotron X-ray radiography and its applications
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2018 .11
-
Synchrotron infrared micro-spectroscopy and its applications for polymer science
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .04
-
High-throughput in-situ Characterization using Synchrotron X-ray Scattering
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2016 .10
-
Fabrication of micro/nano complex grating by light interference lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2016 .10
-
방사광 X-선 영상법을 이용한 마이크로/나노 구조 표면에서의 젖음성 및 상변화 가시화 연구
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2019 .06
-
Measurement of two-phase flow characteristics with synchrotron X-ray imaging
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
-
Dimension Tolerances in Fabrication of Polymer Microfluidic Devices
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2018 .04
-
초소형 마이크로 드릴 제작 및 가공성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
-
Development of Fabrication Process for Micro-Sized Array Patterns with Curved Structures by Controlling the Behavior of Isolated Bubbles
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2022 .10
-
Fabrication of functional nano-structures using nanoimprint lithography and its application to photonic devices
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .04
-
기계가공 및 성형 공정 기반 나노/마이크로 구조체 제조 기술
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024 .12
-
전기방사를 기반으로 한 3D 나노/마이크로 구조의 제조 및 응용
고분자 과학과 기술
2016 .12
-
방사광 X-선 영상법을 이용한 마이크로/나노 표면에서의 기포 핵생성 가시화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .05
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0