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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
곽문규 (경북대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.35 No.11
발행연도
2018.11
수록면
1,019 - 1,026 (8page)
DOI
10.7736/KSPE.2018.35.11.1019

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The purpose of this review paper is to highlight recent efforts and achievements to realize high productivity of micro/nano structure fabrication processes and feasible applications. Due to development in micro/nano fabrication processes, demands on micro/nano related applications are increasing rapidly in various fields. To meet requirements, fabrication process must have high production yield and be automated. Also, fabricated micro/nano structures are expressed on large area substrate. So, it is timely and appropriate to move forward to a new epoch by researching more robust and high throughput fabrication methods, large area fabrication techniques, and new applications. In this review paper, we present a series of recent achievements to overcome some of the limitations in productivity and product size of current fabrication processes, such as photolithography and imprinting lithography. For potential applications, transparent metal electrode, large size optical film, bus wire for narrow bezel, and water collecting surface, are briefly described to expand the application field from the well-known.
#Imprint lithography(임프린트 리소그래피) #Coating process(코팅 공정) #Dispense(디스펜서) #Doctor blade(닥터블레이드) #Roll to roll process(롤투롤 공정)

목차

1. 서론
2. 나노임프린트 리소그래피
3. 연속형 포토리소그래피
4. 결론
REFERENCES

참고문헌 (66)

참고문헌 신청
Chou, S. Y., Krauss, P. R., and Renstrom, P. J., “Imprint Lithography with 25-Nanometer Resolution,” Science, Vol. 272, No. 5258, pp. 85-87, 1996. D. Swaroop and J. K. Hedrick, “String stability of interconnected systems,” IEEE Transactions on Automatic Control, vol. 41, no. 3, pp. 349-357, 1996. Guo, L. J., “Nanoimprint Lithography: Methods and Material Requirements,” Advanced Materials, Vol. 19, No. 4, pp. 495-513, 2007. H. Wang, K. Tanaka, and M. Griffin, “Parallel distributed compensation of nonlinear systems by Takagi and Sugeno’s fuzzy model,” Proceedings of FUZZ-IEEE, Yokohama, Japan, pp. 531-538, 1995. H. O. Wang, K. Tanaka, and M. F. Griffin, “An approach to fuzzy control of nonlinear systems: Stability and design issues,” IEEE Transactions on Fuzzy Systems, vol. 4, no. 1, pp. 14-23, Feb. 1996.

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