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논문 기본 정보

자료유형
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저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제18권 제2호
발행연도
2008.1
수록면
72 - 75 (4page)

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Zinc oxide (ZnO) thin films were prepared by a sol-gel method. The structural and electrical properties were investigated by varying drying and annealing temperatures. The thin films were coated (250 nm) by spin-coating method on glass substrates. The optimum drying temperature of ZnO thin films was 300℃ where the resistivity was the lowest and the preferred c-axis orientation was the highest. The annealing was carried out in air and inert atmospheric conditions. The degree of the preferred c-axis orientation was estimated. The highest preferred c-axis orientation was recorded at 600℃. The preferred c-axis orientation and grain growth resulted in the mobility enhancement of the ZnO thin films, and the lowest resistivity was 0.62 Ω·cm at 600℃.
#Thin film #C-axis orientation #Zinc oxide #Sol-gel #Heat-treatment

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