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논문 기본 정보

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저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제26권 제4호
발행연도
2016.1
수록면
131 - 134 (4page)

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Czochralski 법으로 성장한 RE : YAG (RE = Nd 3+ , Er 3+ , Yb 3+ ) 단결정의 표면 결함을 측정하는 chemical polishing 및 etching 조건에 대하여 조사하였다. 최적의 chemical polishing 조건은 시편을 수직 방향으로 고정하고 85 % H3PO4 용액에서 330 o C, 30분 동안 진행한 것이었다. 또한 최적의 chemical etching 조건은 85 % H3PO4 용액에서 260 o C, 1시간 동안 진행한 것이었고, (111) 면에 70~80 μm 크기의 삼각형 etch pit들이 관찰되었다. 결함 밀도 분석 결과, Nd(1 %) : YAG는1.9 × 10 3개/cm 2 , Er(7.3 %) : YAG는 4.3 × 10 2개/cm 2 , Yb(15 %) : YAG는 5.1 × 10 2개/cm 2로 측정되었다.
#YAG #Chemical polishing #Chemical etching #Etch pit density

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A.A. Kaminski / 1981 / Laser crystals / Springer google schola M. A. Dubinskii / 1998 / Spectroscopic analogy approach in selective search for new Ce3+-activated all-solid-state tunable ultraviolet laser materials / J. Mod. Opt 45:221 google schola Y. Shimony / 1990 / Growth and characterization of (Ho,Tm,Er) :YAG crystals for 2.09 μm laser / J. Appl. Phys 68:2966 google schola C. Belouet / 1972 / About crystalline perfection of Nd-doped YAG single crystals / J. Crystal Growth 15:188 google schola M. Gerber / 2001 / Optimum parameters to etch Nd : YAG crystals with orthphosphoric acid H3PO4 / Optics & Laser Technology 33:449 google schola

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