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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2017.1
- 수록면
- 43 - 48 (6page)
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SnO:Sn(80:20 mol%) 혼합 타겟을 이용한 RF 반응성 스퍼터링으로 투명하고 전도성이 있는 SnxOy 박막을 증착하였다. 혼합 타겟은 화학적으로 안정한 조성과 높은 투과도를 주는 세라믹 타겟과 Sn과 산소의 반응성 증착으로 박막내 구조적 결함 조절이 용이한 금속 타겟의 장점을 고루 택하고 있다. 산소 분압 0%~12% 구간에서 박막을 증착하였으며, 증착 후 300oC에서 1시간 동안 진공 열처리를 진행하였다. Sn 함량이 많은 PO2= 0%의 경우를 제외하고 모든 시편들은 열 처리 전후에 80~90% 이상의 투과도를 보였으며, 안정된 p형 SnxOy 박막은 PO2= 12%에서 확인하였고, PO2= 12% 에서 열 처리 후 캐리어 농도와 이동도는 각각 6.36 × 1018cm-3와 1.02 cm2V-1s-1 이었다
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A. Togo / 2006 / First-principles calculations of native defects in tin monoxide / Physical Review B 74 : 195128 ~ 195121
B. G. Lewis / 2000 / Applications and Processing of Transparent Conducting Oxides / MRS Bulletin 25 (8) : 22 ~
C. Suryanaraynara / 1998 / X-ray diffraction ? A Practical Approach / Plenum Press : 212 ~
C. V. Thompson / 1998 / Grain Growth in Polycrystalline Thin Films of Semiconductors / Inter. Sci 6 : 85 ~
C. Y. Koo / 2000 / Room Temperature Deposition and Heat Treatment Behavior of ATO Thin Films by Ion Beam Sputtering (in Korean) / J. Kor. Ceram. Soc 37 (11) : 1025 ~
B. G. Lewis / 2000 / Applications and Processing of Transparent Conducting Oxides / MRS Bulletin 25 (8) : 22 ~
C. Suryanaraynara / 1998 / X-ray diffraction ? A Practical Approach / Plenum Press : 212 ~
C. V. Thompson / 1998 / Grain Growth in Polycrystalline Thin Films of Semiconductors / Inter. Sci 6 : 85 ~
C. Y. Koo / 2000 / Room Temperature Deposition and Heat Treatment Behavior of ATO Thin Films by Ion Beam Sputtering (in Korean) / J. Kor. Ceram. Soc 37 (11) : 1025 ~
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