파이렉스 #7740 유리박막을 이용한 MEMS용 MLCA와 Si기판의 양극접합 특성

정귀상; 김재민; 윤석진

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자료유형: 학술저널

저자정보: 정귀상 김재민 윤석진

저널정보: 한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제12권 제6호

발행연도: 2003.1

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이 논문의 연구 히스토리 (7)

2003

MEMS용 MLCA와 Si기판의 양극접합 특성

정귀상 , 김재민 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2003.01 학술대회자료

파이렉스 #7740 유리박막을 이용한 MEMS용 MLCA와 Si기판의 양극접합 특성

정귀상 , 김재민 , 윤석진 센서학회지 2003.01 학술저널

2002

Si(100) 기판 위에 성장된 3C-SiC 박막의 물리적 특성

정귀상 , 정연식 , Shigehi 외 1명 전기전자재료학회논문지 2002.01 학술저널

1995

직접접합기술을 이용한 고온용 Si 홀 센서의 제작

정귀상 , 김용진 , 신훈규 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 1995.07 학술대회자료

1994

Si기판 직접접합기술을 이용한 박막 SOI구조의 형성과 고감도 Si 홀 소자에의 응용 ( Formation of Thin Film SOI Structures and Its Application to a High-Sensitivity Si Hall Device Using Si-wafer Direct Bonding Technology )

정귀상 대한전자공학회 학술대회 1994.01 학술대회자료

1993

박막 SOI의 결정질 및 전기적 특성

정귀상 대한전자공학회 학술대회 1993.11 학술대회자료

박막 SOI의 결정질 및 전기적 특성 ( Crystalline and Electrical Properties of a Thin-Film SOI )

정귀상 대한전자공학회 학술대회 1993.11 학술대회자료

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본 논문은 파이렉스 #7740 유리박막을 이용한 MEMS용 MLCA (Multi Layer Ceramic Actuator)와 Si기판의 양극접합 특성에 관한 것이다. 최적의 RF 마그네트론 스퍼터링 조건(Ar 100 %, input power 1 W/cm2)하에서 MLCA기판위에 파이렉스 #7740 유리의 특성을 갖는 박막을 증착하였다. 450℃에서 1시간 열처리한 다음, - 760 mmHg, 600 V 그리고 400℃에서 1시간동안 양극접합했다. 그 다음에 Si 다이어프램을 제조한 후, MLCA/Si 접합계면과 MLCA 구동을 통한 Si 다이어프램 변위특성을 분석 및 평가하였다. 다이어프램 형상에 따라 정밀한 변위 제어가 가능했으며 0.05-0.08 %FS의 우수한 선형성을 나타내었다. 또한, 측정동안 접합계면 균열이나 계면분리가 일어나지 않았다. 따라서, MLCA/Si기판 양극접합기술은 고성능 압전 MEMS 소자 제작공정에 유용하게 사용가능할 것이다.

#Anodic Bonding #MLCA #Pyrex #7740 Glass #MEMS #Diaphragm Deflection

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