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We report the changes of the microwave reflection coefficients S11 of copper(II)-phthalocyanine (CuPc) thin films by using a near-field microwave microscope(NSMM) in order to understand the phase transition of CuPc. For a NSMM system, a high-quality microstrip resonator coupled with a dielectric resonator was used. CuPc thin films were prepared on the pre-heated glass substrates using a thermal evaporation method. The reflection coefficients S11 of CuPc thin films were changed by the dependence on the substrate pre-heating temperatures. By comparing reflection coefficient S11 and crystal structures, we found the phase transition of CuPc thin films from α-phase to β-phase at the substrate heating temperature 200 ℃.

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